| Module | Title | LV Type | CP | LV | Dates | Examination |
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| Design elements of microsystems technology | Konstruktionselemente der Mikrosystemtechnik | Fach-/Modulprüfung | 6 | 581737 | | |
| Mikrotechnische Konstruktion / Konstruktion in der Mikrotechnik | Fach-/Modulprüfung | 6 | 581736 | | |
| Konstruktionselemente der Mikrosystemtechnik | Vorlesung/Übung | | 578093 | Mo 10:30-14:00 t.b.d. (×15) | |
| Konstruktionselemente der Mikrosystemtechnik | Vorlesung/Übung | | 578093 | Mo 10:30-14:00 t.b.d. (×15) | |
| Microsystems development | Entwicklung von Mikrosystemen | Fach-/Modulprüfung | 6 | 585835 | | |
| Ultra-Precision Technology I | Ultrapräzisionstechnik I | Fach-/Modulprüfung | 6 | 585117 | | |
| Ultra-Precision Technology: Machines | Ultra-Precision Technology: Machines | Fach-/Modulprüfung | 6 | 585124 | | |
| Ultra-Precision Technology: Machines | Übung | | 578087 | Mi 14:30-16:00 SG 202 (1810|202) (×15) | |
| Ultra-Precision Technology: Machines | Vorlesung | | 577604 | Mi 16:30-18:00 SG 202 (1810|202) (×15) | |